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Characteristics of PVD-CrAlSiN films after post-coat heat treatments in nitrogen atmosphere

Ho, W. Y. / Hsu, C. H. / Chen, C. W. / Wang, D. Y.

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Titel:

Characteristics of PVD-CrAlSiN films after post-coat heat treatments in nitrogen atmosphere

Beteiligte:

Ho, W. Y. (Autor:in) / Hsu, C. H. (Autor:in) / Chen, C. W. (Autor:in) / Wang, D. Y. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 257 ; 3770-3775

Erscheinungsdatum:

01.01.2011

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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