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Surface damage morphology investigations of silicon under millisecond laser irradiation

Wang, X. / Zhu, D. H. / Shen, Z. H. / Lu, J. / Ni, X. W.

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Titel:

Surface damage morphology investigations of silicon under millisecond laser irradiation

Beteiligte:

Wang, X. (Autor:in) / Zhu, D. H. (Autor:in) / Shen, Z. H. (Autor:in) / Lu, J. (Autor:in) / Ni, X. W. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 257 ; 1583-1588

Erscheinungsdatum:

01.01.2010

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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