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First-Principles Calculations of the Dielectric Constant for the GeO~2 Films

Tamura, M. / Nakamura, J. / Natori, A.

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Titel:

First-Principles Calculations of the Dielectric Constant for the GeO~2 Films

Beteiligte:

Tamura, M. (Autor:in) / Nakamura, J. (Autor:in) / Natori, A. (Autor:in) / Miyazaki, S. / Tabata, H.

Erschienen in:

Technology Evolution for Silicon Nano-Electronics ; 60-65

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 470

Erscheinungsdatum:

01.01.2011

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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