Aluminium-induced crystallization of amorphous silicon films deposited by DC magnetron sputtering on glasses: Fid-Bau Portal

Aluminium-induced crystallization of amorphous silicon films deposited by DC magnetron sputtering on glasses

Kezzoula, F. / Hammouda, A. / Kechouane, M. / Simon, P. / Abaidia, S. E. / Keffous, A. / Cherfi, R. / Menari, H. / Manseri, A.

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Titel:

Aluminium-induced crystallization of amorphous silicon films deposited by DC magnetron sputtering on glasses

Beteiligte:

Kezzoula, F. (Autor:in) / Hammouda, A. (Autor:in) / Kechouane, M. (Autor:in) / Simon, P. (Autor:in) / Abaidia, S. E. (Autor:in) / Keffous, A. (Autor:in) / Cherfi, R. (Autor:in) / Menari, H. (Autor:in) / Manseri, A. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 257 ; 9689-9693

Erscheinungsdatum:

01.01.2011

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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