Nanocrystalline silicon thin films grown by a MF twin magnetron sputtering system with two solenoid coils: Fid-Bau Portal

Nanocrystalline silicon thin films grown by a MF twin magnetron sputtering system with two solenoid coils

Gao, J. / Zhang, L. / Xiao, J. / Gong, J. / Sun, C. / Wen, L.

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Titel:

Nanocrystalline silicon thin films grown by a MF twin magnetron sputtering system with two solenoid coils

Beteiligte:

Gao, J. (Autor:in) / Zhang, L. (Autor:in) / Xiao, J. (Autor:in) / Gong, J. (Autor:in) / Sun, C. (Autor:in) / Wen, L. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS LETTERS ; 68 ; 367-369

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0167-577X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1105 / 530

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