Fabrication of Polymer Optical Waveguides for the 1.5-μm Band Using Focused Proton Beam: Fid-Bau Portal

Fabrication of Polymer Optical Waveguides for the 1.5-μm Band Using Focused Proton Beam

Miura, K. / Machida, Y. / Uehara, M. / Kiryu, H. / Ozawa, Y. / Sasaki, T. / Hanaizumi, O. / Satoh, T. / Ishii, Y. / Kohka, M.

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Titel:

Fabrication of Polymer Optical Waveguides for the 1.5-μm Band Using Focused Proton Beam

Beteiligte:

Miura, K. (Autor:in) / Machida, Y. (Autor:in) / Uehara, M. (Autor:in) / Kiryu, H. (Autor:in) / Ozawa, Y. (Autor:in) / Sasaki, T. (Autor:in) / Hanaizumi, O. (Autor:in) / Satoh, T. (Autor:in) / Ishii, Y. (Autor:in) / Kohka, M. (Autor:in)

Erschienen in:

Silicon Science and Advanced Micro-Device Engineering II ; 147-152

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 497

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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