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Development of Material Tester Using Pendulum

Ebara, H. / Takita, A. / Azami, T. / Fujii, Y.

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Titel:

Development of Material Tester Using Pendulum

Beteiligte:

Ebara, H. (Autor:in) / Takita, A. (Autor:in) / Azami, T. (Autor:in) / Fujii, Y. (Autor:in) / Hanaizumi, O. / Unno, M. / Miura, K.

Erschienen in:

Silicon Science and Advanced Micro-Device Engineering II ; 176-181

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 497

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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