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    Titel:

    An In Situ Measuring Method for Young's Modulus of a MEMS Film Base on Resonance Frequency

    Beteiligte:

    Chen, H. (Autor:in) / Rong, H. (Autor:in) / Wang, X.

    Erschienen in:

    Micro-Nano Technology XIII Selected, peer reviewed papers from the 13th Annual Conference of Chinese Society of Micro-Nano Technology, September 28-30, 2011, Changchow, China ; 308-311

    KEY ENGINEERING MATERIALS ; 503

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2012

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    1013-9826

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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