ZnS thin film deposition on Silicon and glass substrates by Thermionic vacuum Arc: Fid-Bau Portal

ZnS thin film deposition on Silicon and glass substrates by Thermionic vacuum Arc

Ozkan, M. / Ekem, N. / Pat, S. / Balbag, M. Z.

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Titel:

ZnS thin film deposition on Silicon and glass substrates by Thermionic vacuum Arc

Beteiligte:

Ozkan, M. (Autor:in) / Ekem, N. (Autor:in) / Pat, S. (Autor:in) / Balbag, M. Z. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 15 ; 113-119

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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