Piezoceramic Stack Actuators for Micropositioning Stage: Fid-Bau Portal

Piezoceramic Stack Actuators for Micropositioning Stage

Xu, Y.N. / Chu, X.C.

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Titel:

Piezoceramic Stack Actuators for Micropositioning Stage

Beteiligte:

Xu, Y.N. (Autor:in) / Chu, X.C. (Autor:in) / Pan, W. / Gong, J.

Erschienen in:

High-Performance Ceramics VII ; 1337-1341

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 512/515

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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