Micro-scale patterning of indium tin oxide film by spatially modulated pulsed Nd:YAG laser beam: Fid-Bau Portal

Micro-scale patterning of indium tin oxide film by spatially modulated pulsed Nd:YAG laser beam

Lee, J. / Kim, S. / Lee, M.

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Titel:

Micro-scale patterning of indium tin oxide film by spatially modulated pulsed Nd:YAG laser beam

Beteiligte:

Lee, J. (Autor:in) / Kim, S. (Autor:in) / Lee, M. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 258 ; 9107-9111

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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