Evaluation of Ge~xSb~yTe~z Film Grown by Chemical Vapor Deposition: Fid-Bau Portal

Evaluation of Ge~xSb~yTe~z Film Grown by Chemical Vapor Deposition

Hamada, S. / Horiike, T. / Uno, T. / Ishikawa, M. / Machida, H. / Ohshita, Y. / Ogura, A.

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Titel:

Evaluation of Ge~xSb~yTe~z Film Grown by Chemical Vapor Deposition

Beteiligte:

Hamada, S. (Autor:in) / Horiike, T. (Autor:in) / Uno, T. (Autor:in) / Ishikawa, M. (Autor:in) / Machida, H. (Autor:in) / Ohshita, Y. (Autor:in) / Ogura, A. (Autor:in) / Yamada-Kaneta, H. / Sakai, A.

Erschienen in:

Defects-Recognition, Imaging and Physics in Semiconductors XIV ; 289-292

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 725

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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