Structural and electrical properties of transparent conducting Al2O3-doped ZnO thin films using off-axis DC magnetron sputtering: Fid-Bau Portal

Structural and electrical properties of transparent conducting Al2O3-doped ZnO thin films using off-axis DC magnetron sputtering

Lee, S. / Kim, S. H. / Kim, Y. / Kingon, A. I. / Paine, D. C. / No, K.

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Titel:

Structural and electrical properties of transparent conducting Al2O3-doped ZnO thin films using off-axis DC magnetron sputtering

Beteiligte:

Lee, S. (Autor:in) / Kim, S. H. (Autor:in) / Kim, Y. (Autor:in) / Kingon, A. I. (Autor:in) / Paine, D. C. (Autor:in) / No, K. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS LETTERS ; 85 ; 88-90

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0167-577X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1105 / 530

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