Form Error Characterization of Reflective-Type Gratings: Fid-Bau Portal

Form Error Characterization of Reflective-Type Gratings

Shimizu, Y. / Kim, W.J. / Ito, S. / Gao, W.

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Titel:

Form Error Characterization of Reflective-Type Gratings

Beteiligte:

Shimizu, Y. (Autor:in) / Kim, W.J. (Autor:in) / Ito, S. (Autor:in) / Gao, W. (Autor:in)

Erschienen in:

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 523/524 ; 859-864

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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