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Morphology and growth of hafnium silicide on Si(111)

Beimborn, A. / Henschel, E. / Westphal, C.

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Titel:

Morphology and growth of hafnium silicide on Si(111)

Beteiligte:

Beimborn, A. (Autor:in) / Henschel, E. (Autor:in) / Westphal, C. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 265 ; 1-3

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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