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    Titel:

    Structural Properties of SrTiO~3 Transparent Thin Films Formed by RF Magnetron Sputtering with Changing Substrate Temperatures

    Beteiligte:

    Kakiage, K. (Autor:in) / Ishiuchi, S. (Autor:in) / Kyomen, T. (Autor:in) / Hanaya, M. (Autor:in) / Hosaka, S.

    Erschienen in:

    Advanced Micro-Device Engineering III ; 40-45

    KEY ENGINEERING MATERIALS ; 534

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2013

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    1013-9826

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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