Chemical evolution of InP/InGaAs/InGaAsP microstructures irradiated in air and deionized water with ArF and KrF lasers: Fid-Bau Portal

Chemical evolution of InP/InGaAs/InGaAsP microstructures irradiated in air and deionized water with ArF and KrF lasers

Liu, N. / Dubowski, J. J.

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Titel:

Chemical evolution of InP/InGaAs/InGaAsP microstructures irradiated in air and deionized water with ArF and KrF lasers

Beteiligte:

Liu, N. (Autor:in) / Dubowski, J. J. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 270 ; 16-24

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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