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Nanostructured Membranes for MEMS Energy Harvester

Mousselmal, H.D. / Remaki, B. / Malhaire, C. / Petit, L.

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Titel:

Nanostructured Membranes for MEMS Energy Harvester

Beteiligte:

Mousselmal, H.D. (Autor:in) / Remaki, B. (Autor:in) / Malhaire, C. (Autor:in) / Petit, L. (Autor:in) / Hristoforou, E. / Vlachos, D.S.

Erschienen in:

Materials and Applications for Sensors and Transducers II ; 208-211

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 543

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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