Silicon bump arrays by near-field enhanced femtosecond laser irradiation in fluorine liquid precursors: Fid-Bau Portal

Silicon bump arrays by near-field enhanced femtosecond laser irradiation in fluorine liquid precursors

Ulmeanu, M. / Anghel, I. / Jipa, F. / Filipescu, M. / Enculescu, M. / Zamfirescu, M.

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Titel:

Silicon bump arrays by near-field enhanced femtosecond laser irradiation in fluorine liquid precursors

Beteiligte:

Ulmeanu, M. (Autor:in) / Anghel, I. (Autor:in) / Jipa, F. (Autor:in) / Filipescu, M. (Autor:in) / Enculescu, M. (Autor:in) / Zamfirescu, M. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 278 ; 301-304

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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