Is 2nm DLC coating enough to resist the nanowear of silicon: Fid-Bau Portal

Is 2nm DLC coating enough to resist the nanowear of silicon

Chen, L. / Yang, M. C. / Song, C. F. / Yu, B. J. / Qian, L. M.

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Titel:

Is 2nm DLC coating enough to resist the nanowear of silicon

Beteiligte:

Chen, L. (Autor:in) / Yang, M. C. (Autor:in) / Song, C. F. (Autor:in) / Yu, B. J. (Autor:in) / Qian, L. M. (Autor:in)

Erschienen in:

WEAR -LAUSANNE- ; 302 ; 909-917

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

0043-1648

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11292

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