Automated Finishing of Diamond Turned Dies for Hard X-Ray and EUV Optics Replication: Fid-Bau Portal

Automated Finishing of Diamond Turned Dies for Hard X-Ray and EUV Optics Replication

Beaucamp, A.T.H. / Namba, Y. / Freeman, R.R.

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Titel:

Automated Finishing of Diamond Turned Dies for Hard X-Ray and EUV Optics Replication

Beteiligte:

Beaucamp, A.T.H. (Autor:in) / Namba, Y. (Autor:in) / Freeman, R.R. (Autor:in) / Fu, Y.

Erschienen in:

Advances in Optics Manufacture ; 115-123

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 552

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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