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Preparation of low reflective microstructure at multicrystal silicon surface by ferric nitrate etching

Zhang, L. / Shen, H. / Yue, Z. / Wang, W. / Jiang, Y.

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Titel:

Preparation of low reflective microstructure at multicrystal silicon surface by ferric nitrate etching

Beteiligte:

Zhang, L. (Autor:in) / Shen, H. (Autor:in) / Yue, Z. (Autor:in) / Wang, W. (Autor:in) / Jiang, Y. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 280 ; 446-449

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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