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    Titel:

    Fabrication and Electrical Evaluation of MoSi~2-Si Composite Thin Films

    Beteiligte:

    Hikita, S. (Autor:in) / Hayashi, T. (Autor:in) / Sato, Y. (Autor:in) / Yoshikado, S. (Autor:in) / Katayama, K. / Kato, K. / Shinozaki, K. / Mizoguchi, T. / Miyayama, M.

    Erschienen in:

    Electroceramics in Japan XV Selected, peer reviewed papers from the 31^s^t Electronics Division Meeting of the Ceramic Society of Japan October 28-29, 2011, Tokyo, Japan ; 179-186

    KEY ENGINEERING MATERIALS ; 566

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2013

    Format / Umfang:

    8 pages

    ISSN:

    1013-9826

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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