Magnetron Sputtering Ni-Cr Alloy Thin Film Resistance Temperature Characteristic Study: Fid-Bau Portal

Magnetron Sputtering Ni-Cr Alloy Thin Film Resistance Temperature Characteristic Study

Tang, L. / Hu, D.P.

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Titel:

Magnetron Sputtering Ni-Cr Alloy Thin Film Resistance Temperature Characteristic Study

Beteiligte:

Tang, L. (Autor:in) / Hu, D.P. (Autor:in) / Tang, F.

Erschienen in:

Micro-Nano Technology XIV ; 832-836

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 562/565

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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