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Characterization of ZrTiO"4 thin films prepared by sol-gel method

Hsu, C. H. / Lin, S. Y.

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Titel:

Characterization of ZrTiO"4 thin films prepared by sol-gel method

Beteiligte:

Hsu, C. H. (Autor:in) / Lin, S. Y. (Autor:in) / Cheong, K. Y. / Paskaleva, A.

Erschienen in:

Advanced Oxides for Electronics ; 1262-1266

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 16

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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