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    Titel:

    Real-space insight in the nanometer scale roughness development during growth and ion beam polishing of molybdenum silicon multilayer films

    Beteiligte:

    Zoethout, E. (Autor:in) / Louis, E. (Autor:in) / Bijkerk, F. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 285 ; 293-299

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2013

    Format / Umfang:

    7 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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