Influence des contraintes residuelles et de la texture sur les proprietes mecaniques de films minces de Cr elabores par pulverisation cathodique RF: Fid-Bau Portal

Influence des contraintes residuelles et de la texture sur les proprietes mecaniques de films minces de Cr elabores par pulverisation cathodique RF

Le Priol, A. / Le Bourhis, E. / Renault, P.-O. / Muller, P. / Sik, H.

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Titel:

Influence des contraintes residuelles et de la texture sur les proprietes mecaniques de films minces de Cr elabores par pulverisation cathodique RF

Beteiligte:

Le Priol, A. (Autor:in) / Le Bourhis, E. (Autor:in) / Renault, P.-O. (Autor:in) / Muller, P. (Autor:in) / Sik, H. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIAUX ET TECHNIQUES ; 101 ; 307

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

307 pages

ISSN:

0032-6895

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Französisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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