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    Titel:

    Size Error and Modification of V-Groove in Thermal Microimprint

    Beteiligte:

    Wang, H.X. (Autor:in) / Li, J.B. (Autor:in) / Lv, Y.H. (Autor:in) / Liu, S. / Yuan, X.

    Erschienen in:

    Recent Highlights in Advanced Materials ; 543-549

    KEY ENGINEERING MATERIALS ; 575/576

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2014

    Format / Umfang:

    7 pages

    ISSN:

    1013-9826

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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