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Historical milestones and future prospects of cluster ion beam technology

Yamada, I.

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Titel:

Historical milestones and future prospects of cluster ion beam technology

Beteiligte:

Yamada, I. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 310 ; 77-88

Erscheinungsdatum:

01.01.2014

Format / Umfang:

12 pages

ISSN:

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Print

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

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