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A Virtual Instrument for SEM Uncertainty Analysis

Gnieser, D. / Frase, C.G. / Bosse, H. / Tutsch, R.

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Titel:

A Virtual Instrument for SEM Uncertainty Analysis

Beteiligte:

Gnieser, D. (Autor:in) / Frase, C.G. (Autor:in) / Bosse, H. (Autor:in) / Tutsch, R. (Autor:in) / Schmitt, R. / Bosse, H.

Erschienen in:

Measurement Technology and Intelligent Instruments XI Metrology - Master Global Challenges ; 101-110

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 613

Erscheinungsdatum:

01.01.2014

Format / Umfang:

10 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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