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Design and Fabrication of Universal Inertial Switch Based on MEMS Technology

Liu, S.J. / Hao, Y.P. / Liu, F.L.

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Titel:

Design and Fabrication of Universal Inertial Switch Based on MEMS Technology

Beteiligte:

Liu, S.J. (Autor:in) / Hao, Y.P. (Autor:in) / Liu, F.L. (Autor:in)

Erschienen in:

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 609/610 ; 689-695

Erscheinungsdatum:

01.01.2014

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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