Study on Shock Resistance of MEMS Devices with Different Stoppers: Fid-Bau Portal

Study on Shock Resistance of MEMS Devices with Different Stoppers

Jiang, T. / Wei, Y. / Yao, S. / Zhou, J.

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Titel:

Study on Shock Resistance of MEMS Devices with Different Stoppers

Beteiligte:

Jiang, T. (Autor:in) / Wei, Y. (Autor:in) / Yao, S. (Autor:in) / Zhou, J. (Autor:in) / Tang, F.

Erschienen in:

MICRO-NANO TECHNOLOGY XV ; 825-830

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 609/610

Erscheinungsdatum:

01.01.2014

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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