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    Titel:

    High Precision Double-Interferometry for Large Step-Height On-Line Measurement Using Waveform Transforming Technology

    Beteiligte:

    Ma, S. (Autor:in) / Xie, F. (Autor:in) / Wang, Y.Z. (Autor:in) / Chen, L. (Autor:in) / Tang, F.

    Erschienen in:

    MICRO-NANO TECHNOLOGY XV ; 1122-1130

    KEY ENGINEERING MATERIALS ; 609/610

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2014

    Format / Umfang:

    9 pages

    ISSN:

    1013-9826

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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