Fabrication and characterization of a smart epitaxial piezoelectric micromachined ultrasonic transducer: Fid-Bau Portal

Fabrication and characterization of a smart epitaxial piezoelectric micromachined ultrasonic transducer

Ozaki, K. / Matin, A. / Numata, Y. / Akai, D. / Sawada, K. / Ishida, M.

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Titel:

Fabrication and characterization of a smart epitaxial piezoelectric micromachined ultrasonic transducer

Beteiligte:

Ozaki, K. (Autor:in) / Matin, A. (Autor:in) / Numata, Y. (Autor:in) / Akai, D. (Autor:in) / Sawada, K. (Autor:in) / Ishida, M. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B ADVANCED FUNCTIONAL SOLID STATE MATERIALS ; 190 ; 41-46

Erscheinungsdatum:

01.01.2014

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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