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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Preparation of spherical ceria coated silica nanoparticle abrasives for CMP application

    Beteiligte:

    Peedikakkandy, L. (Autor:in) / Kalita, L. (Autor:in) / Kavle, P. (Autor:in) / Kadam, A. (Autor:in) / Gujar, V. (Autor:in) / Arcot, M. (Autor:in) / Bhargava, P. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 357 ; 1306-1312

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2015

    Format / Umfang:

    7 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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