Electrical properties of SiO2/SiC interfaces on 2°-off axis 4H-SiC epilayers: Fid-Bau Portal

Electrical properties of SiO2/SiC interfaces on 2°-off axis 4H-SiC epilayers

Vivona, M. / Fiorenza, P. / Sledziewski, T. / Krieger, M. / Chassagne, T. / Zielinski, M. / Roccaforte, F.

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Titel:

Electrical properties of SiO2/SiC interfaces on 2°-off axis 4H-SiC epilayers

Beteiligte:

Vivona, M. (Autor:in) / Fiorenza, P. (Autor:in) / Sledziewski, T. (Autor:in) / Krieger, M. (Autor:in) / Chassagne, T. (Autor:in) / Zielinski, M. (Autor:in) / Roccaforte, F. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 364 ; 892-895

Erscheinungsdatum:

01.01.2016

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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