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Experimental investigation on oxidation kinetics of germanium by ozone

Wang, X. / Zhao, Z. / Xiang, J. / Wang, W. / Zhang, J. / Zhao, C. / Ye, T.

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Titel:

Experimental investigation on oxidation kinetics of germanium by ozone

Beteiligte:

Wang, X. (Autor:in) / Zhao, Z. (Autor:in) / Xiang, J. (Autor:in) / Wang, W. (Autor:in) / Zhang, J. (Autor:in) / Zhao, C. (Autor:in) / Ye, T. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 390 ; 472-480

Erscheinungsdatum:

01.01.2016

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Print

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

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