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Massive fabrication of silicon nanopore arrays with tunable shapes

Deng, T. / Wang, Y. / Chen, Q. / Chen, H. / Liu, Z.

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Titel:

Massive fabrication of silicon nanopore arrays with tunable shapes

Beteiligte:

Deng, T. (Autor:in) / Wang, Y. (Autor:in) / Chen, Q. (Autor:in) / Chen, H. (Autor:in) / Liu, Z. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 390 ; 681-688

Erscheinungsdatum:

01.01.2016

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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