Ultra-precision 3 DOF tilting stage for workpiece setup of scalable micro-pattern machining: Fid-Bau Portal

Ultra-precision 3 DOF tilting stage for workpiece setup of scalable micro-pattern machining

Kim, J. S. / Youn, H. / Kang, B.

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Titel:

Ultra-precision 3 DOF tilting stage for workpiece setup of scalable micro-pattern machining

Beteiligte:

Kim, J. S. (Autor:in) / Youn, H. (Autor:in) / Kang, B. (Autor:in)

Erschienen in:

INTERNATIONAL JOURNAL OF PRECISION ENGINEERING AND MANUFACTURING ; 18 ; 1103-1109

Erscheinungsdatum:

01.01.2017

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

2234-7593

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621

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