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Effects of Molybdenum Microstructures on Sputtered Films

Chen, Jhewn-Kuang / Tsai, Bing-Hua / Huang, Hung-Shen

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Titel:

Effects of Molybdenum Microstructures on Sputtered Films

Beteiligte:

Chen, Jhewn-Kuang (Autor:in) / Tsai, Bing-Hua (Autor:in) / Huang, Hung-Shen (Autor:in)

Erschienen in:

Materials transactions ; 56 ; 665-670

Erscheinungsdatum:

01.01.2015

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1345-9678

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1105

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