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Titel:

MD Simulations of Nanomachining Monocrystalline Silicon

Beteiligte:

Qu, G. K. (Autor:in)

Erschienen in:

Key engineering materials ; 667 ; 108-113

Erscheinungsdatum:

01.01.2016

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1105

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