Se doping of silicon with Si/Se bilayer films prepared by femtosecond-laser irradiation: Fid-Bau Portal

Se doping of silicon with Si/Se bilayer films prepared by femtosecond-laser irradiation

Du, Lingyan / Wu, Zhiming / Su, Yuanjie / Li, Rui / Tang, Fei / Li, Shibin / Zhang, Ting / Jiang, Yadong

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Titel:

Se doping of silicon with Si/Se bilayer films prepared by femtosecond-laser irradiation

Beteiligte:

Du, Lingyan (Autor:in) / Wu, Zhiming (Autor:in) / Su, Yuanjie (Autor:in) / Li, Rui (Autor:in) / Tang, Fei (Autor:in) / Li, Shibin (Autor:in) / Zhang, Ting (Autor:in) / Jiang, Yadong (Autor:in)

Erschienen in:

Materials science in semiconductor processing ; 54 ; 51-56

Erscheinungsdatum:

01.01.2016

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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