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    Titel:

    Dislocation-mediated plasticity in silicon during nanometric cutting: A molecular dynamics simulation study

    Beteiligte:

    Chavoshi, Saeed Zare (Autor:in) / Xu, Shuozhi (Autor:in) / Luo, Xichun (Autor:in)

    Erschienen in:

    Materials science in semiconductor processing ; 51 ; 60-70

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2016

    Format / Umfang:

    11 pages

    ISSN:

    1369-8001

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.38152

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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