Fluence-dependent sputtering yield of micro-architectured materials: Fid-Bau Portal

Fluence-dependent sputtering yield of micro-architectured materials

Matthes, Christopher S.R. / Ghoniem, Nasr M. / Li, Gary Z. / Matlock, Taylor S. / Goebel, Dan M. / Dodson, Chris A. / Wirz, Richard E.

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Titel:

Fluence-dependent sputtering yield of micro-architectured materials

Beteiligte:

Matthes, Christopher S.R. (Autor:in) / Ghoniem, Nasr M. (Autor:in) / Li, Gary Z. (Autor:in) / Matlock, Taylor S. (Autor:in) / Goebel, Dan M. (Autor:in) / Dodson, Chris A. (Autor:in) / Wirz, Richard E. (Autor:in)

Erschienen in:

Applied surface science ; 407 ; 223-235

Erscheinungsdatum:

01.01.2017

Format / Umfang:

13 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.44

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