Electrical isolation of GaAs and AlGaAs/GaAs Quantum Cascade Lasers by deep hydrogen implantation: Fid-Bau Portal

Electrical isolation of GaAs and AlGaAs/GaAs Quantum Cascade Lasers by deep hydrogen implantation

Kozubal, Maciej Artur / Szerling, Anna / Kosiel, Kamil / Myśliwiec, Marcin / Pągowska, Karolina / Jakieła, Rafał / Kruszka, Renata / Guziewicz, Marek / Barcz, Adam

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Titel:

Electrical isolation of GaAs and AlGaAs/GaAs Quantum Cascade Lasers by deep hydrogen implantation

Beteiligte:

Kozubal, Maciej Artur (Autor:in) / Szerling, Anna (Autor:in) / Kosiel, Kamil (Autor:in) / Myśliwiec, Marcin (Autor:in) / Pągowska, Karolina (Autor:in) / Jakieła, Rafał (Autor:in) / Kruszka, Renata (Autor:in) / Guziewicz, Marek (Autor:in) / Barcz, Adam (Autor:in)

Erschienen in:

Materials science in semiconductor processing ; 74 ; 88-97

Erscheinungsdatum:

01.01.2018

Format / Umfang:

10 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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