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    Titel:

    The impact of wafering on organic and inorganic surface contaminations

    Beteiligte:

    Meyer, S. (Autor:in) / Wahl, S. (Autor:in) / Timmel, S. (Autor:in) / Köpge, R. (Autor:in) / Jang, B.-Y. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Applied surface science ; 378 ; 384-387

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2016

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.44

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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