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    Titel:

    Properties of atomic-layer-deposited ultra-thin AlN films on GaAs surfaces

    Beteiligte:

    Mattila, P. (Autor:in) / Bosund, M. (Autor:in) / Jussila, H. (Autor:in) / Aierken, A. (Autor:in) / Riikonen, J. (Autor:in) / Huhtio, T. (Autor:in) / Lipsanen, H. (Autor:in) / Sopanen, M. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Applied surface science ; 314 ; 570-574

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2014

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.44

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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