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    Titel:

    Use of a nanostructured surface coating to achieve higher sputter rates

    Beteiligte:

    Flege, S. (Autor:in) / Hatada, R. (Autor:in) / Kaiser, T. (Autor:in) / Muench, F. (Autor:in) / Cherkashinin, G. (Autor:in) / Schwöbel, A. (Autor:in) / Ensinger, W. (Autor:in) / Baba, K. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS LETTERS ; 164 ; 532-534

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2016

    Format / Umfang:

    3 pages

    ISSN:

    0167-577X

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Unbekannt

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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