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Localized and programmable material transport and deposition by corona discharge
Der Transport von Materialien und Gütern bestimmt unseren Alltag. Materialtransport passiert in globalen Logistikunternehmen, in Fertigungslinien, in alltäglichen Situationen wie dem Einkaufen und selbst in unserem menschlichen Körper. Zu jedem Zeitpunkt werden Materialien von A nach B transportiert, ohne dass uns dies in vielen Situationen bewusst wird. Mit dem Unterschreiten von Größenordnungen im Mikro- und Nanometerbereich wird ein gezielter Materialtransport zu einer Herausforderung, da eine manuelle Manipulation nicht mehr möglich ist. Dennoch wäre es wünschenswert, wenn wir gezielt Material an einen gewünschten Ort transportieren und dort abscheiden könnten, denn diese Lokalisierung wird in vielen Anwendungsfeldern benötigt, um z.B. physikalische Eigenschaften auszunutzen oder chemische oder biologische Reaktionen auszulösen. Daher soll in dieser Arbeit eine Methode zum lokalisierten Materialtransport im Mikro- und Nanometerbereich vorgestellt werden. Diese Methode basiert auf elektrischen Kräften. Einfach ausgedrückt, laden wir ein beliebiges Material elektrisch auf und können es dann in einem elektrischen Feld manipulieren. Negativ geladenes Material wird von negativ geladenen Flächen abgestoßen und von positiv geladenen Flächen angezogen. So lässt sich ein gerichteter Materialtransport erzeugen. Das Material wird mithilfe einer negativen DC Corona-Entladung aufgeladen. Durch die Strukturierung von isolierenden Flächen auf leitfähigen Substraten lassen sich sogenannte elektrodynamische Trichter erzeugen, die das geladene Material zu den gewünschten Orten führen, es dort konzentrieren und abscheiden. Die Nutzung von elektrischen Kräften ermöglicht zudem eine Programmierbarkeit, da durch das Ändern der elektrischen Felder oder durch An- und Ausschalten von Elektroden die Position der Abscheidung, die Abscheideart oder die Abscheiderate geändert werden kann. Die Nutzung der Corona-Entladung ermöglicht eine hohe Freiheit bei der Materialwahl. Die Abscheidung von Metallen, Halbleitern, Isolatoren und ...
Localized and programmable material transport and deposition by corona discharge
Der Transport von Materialien und Gütern bestimmt unseren Alltag. Materialtransport passiert in globalen Logistikunternehmen, in Fertigungslinien, in alltäglichen Situationen wie dem Einkaufen und selbst in unserem menschlichen Körper. Zu jedem Zeitpunkt werden Materialien von A nach B transportiert, ohne dass uns dies in vielen Situationen bewusst wird. Mit dem Unterschreiten von Größenordnungen im Mikro- und Nanometerbereich wird ein gezielter Materialtransport zu einer Herausforderung, da eine manuelle Manipulation nicht mehr möglich ist. Dennoch wäre es wünschenswert, wenn wir gezielt Material an einen gewünschten Ort transportieren und dort abscheiden könnten, denn diese Lokalisierung wird in vielen Anwendungsfeldern benötigt, um z.B. physikalische Eigenschaften auszunutzen oder chemische oder biologische Reaktionen auszulösen. Daher soll in dieser Arbeit eine Methode zum lokalisierten Materialtransport im Mikro- und Nanometerbereich vorgestellt werden. Diese Methode basiert auf elektrischen Kräften. Einfach ausgedrückt, laden wir ein beliebiges Material elektrisch auf und können es dann in einem elektrischen Feld manipulieren. Negativ geladenes Material wird von negativ geladenen Flächen abgestoßen und von positiv geladenen Flächen angezogen. So lässt sich ein gerichteter Materialtransport erzeugen. Das Material wird mithilfe einer negativen DC Corona-Entladung aufgeladen. Durch die Strukturierung von isolierenden Flächen auf leitfähigen Substraten lassen sich sogenannte elektrodynamische Trichter erzeugen, die das geladene Material zu den gewünschten Orten führen, es dort konzentrieren und abscheiden. Die Nutzung von elektrischen Kräften ermöglicht zudem eine Programmierbarkeit, da durch das Ändern der elektrischen Felder oder durch An- und Ausschalten von Elektroden die Position der Abscheidung, die Abscheideart oder die Abscheiderate geändert werden kann. Die Nutzung der Corona-Entladung ermöglicht eine hohe Freiheit bei der Materialwahl. Die Abscheidung von Metallen, Halbleitern, Isolatoren und ...
Localized and programmable material transport and deposition by corona discharge
Reiprich, Johannes (Autor:in) / Jacobs, Heiko O. / Schober, Andreas / Sivakov, Vladimir
04.03.2022
Hochschulschrift
Elektronische Ressource
Englisch
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