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    L'invention concerne un substrat (4) comprenant un revêtement de diamant caractérisé en ce qu'il comprend au moins un empilement (5) d'une première couche de diamant nanocristallin (5a) présentant une taille de grain inférieure à 50 nanomètres et d'une deuxième couche de diamant microcristallin (5b) présentant une rugosité Ra inférieure à 20 nanomètres. L'invention concerne aussi un procédé de dépôt d'un revêtement de diamant (5) sur un substrat (4) par dépôt chimique en phase vapeur dans un chambre de réaction. L'invention concerne encore une pièce de micromécanique comprenant une surface fonctionnelle formée du substrat (4) comprenant le revêtement de diamant (5).

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    Titel:

    Substrat comprenant un revêtement de diamant et procédé de dépôt d'un tel revêtement.

    Beteiligte:

    SEBASTIANO MERZAGHI (Autor:in) / CÉDRIC FAURE (Autor:in) / PHILIPPE DUBOIS (Autor:in)

    Erscheinungsdatum:

    30.11.2020

    Medientyp:

    Patent

    Format:

    Elektronische Ressource

    Sprache:

    Französisch

    Klassifikation:

    IPC:  C23C Beschichten metallischer Werkstoffe , COATING METALLIC MATERIAL / C04B Kalk , LIME / C30B SINGLE-CRYSTAL GROWTH , Züchten von Einkristallen

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